有機廢氣處理流（liú）程及（jí）應用實例，有機廢氣處理主要有吸收法、吸附法、焚燒法、生物法等處理技術。吸收法是利用有機氣體水溶性的特（tè）性，且添加次氯酸鈉或過氧化氫等氧化劑，將有機廢氣中的有機氣體去除。此方法因（yīn）添加氧化劑不但處理成本增加，且易形成二次汙（wū）染，故吸收法未得到普遍應用。生物處理法是（shì）利用（yòng）微生物的代謝作用（yòng），將汙染物分解成無害（hài）物質。生物處理法運行費用（yòng）低，二次汙染小，但處（chù）理條件嚴、持續時（shí）間長，占地麵積大，故實際應用較少。焚燒（shāo）法是利用高溫焚燒過程將有（yǒu）機廢氣轉換成CO2與H2O，根據廢氣的焚燒溫度（dù）可分為750攝氏度-850攝氏度的焚燒化與350攝氏度（dù）～450攝氏度觸媒焚（fén）化二類，因觸媒式易造（zào）成觸媒毒化，故很少采用這種方法。吸附法是利用高孔隙率（lǜ）、高表（biǎo）麵積的吸附劑，將（jiāng）廢氣中（zhōng）的有機氣（qì）體分子（zǐ）分離，而淨（jìng）化有機廢（fèi）氣。適用於（yú）集成電路產業的有機（jī）廢氣處理方（fāng）法有吸附法和焚燒法。

有機廢氣處（chù）理係統由高溫轉輪裝置和活性炭吸（xī）附裝置構成。有機廢氣（qì）通過（guò）預過（guò）濾器，除去灰塵顆粒，保護下遊的設備；通（tōng）過原氣體冷凝器，除去高沸點有機物甲（jiǎ）基乙（yǐ）基酮MEA，保護高溫（wēn）轉輪裝置內的吸附劑；通過加（jiā）熱器，加熱冷凝後的有（yǒu）機廢氣至30。C左右，這（zhè）樣可以提高有機物吸附率；接著通過G—AC過濾器，再次（cì）過濾去（qù）除高（gāo）沸點有機物。廢氣送風機將有機廢氣送人高溫轉（zhuǎn）輪裝置進行吸附。高溫轉輪分為（wéi）前後二室，並裝有一（yī）個大（dà）轉盤，轉盤上裝有紙質活性炭過濾器。有機廢氣處（chù）理過濾和吸附後（hòu）排人大（dà）氣中，吸附後的轉盤轉入另一室內，通入150。C左右的熱空（kōng）氣進行解吸附，解吸附出來的濃縮氣體通過過濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過濾器等設備，被濃縮氣體送風機（jī）送人顆粒活性炭吸附筒處理，吸附後排放於大氣中。http://www.cqitwb.com/

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